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恒奥德仪器热偶真空计工作原理使用注意事项

热电偶接在白金或钨的细线上。这段细线通过电流后会发热。发出的热量通过周围气体分子的热传导，或细线本身的固体热传导，或热辐射放出。利用气体分子承担的热传导量与压力成正比的特点是此真空计的原理。

其工作机制基于气体热传导特性与气压的关系。加热元件通过恒定电流加热至一定温度，当气压降低时，气体分子密度减小，热传导减少，加热元件温度升高，温度检测元件将温度变化转化为热电势变化，通过校准曲线即可换算为对应的气压值。 [9-11]

如果保持细线的发热量即保持一定的电流，则周围压力高的时候气体夺走的热量较多，致使细线的温度较低。反过来周围压力低的时候细线的温度会升高。这种温度的变化通过热电偶检测出来，将热电偶的热电势换成压力后即可知真空腔内的压力。

该原理决定了热偶真空计通常适用于低真空至中真空范围，测量范围大致在10? Pa至10?1 Pa之间。在高真空（?3 Pa）环境下，由于气体分子过于稀薄，热传导效应变得很弱，测量误差会显著增大，因此不适用于高真空度的精确测量

校准规范与流程

热偶真空计在使用前需进行校准。基本步骤包括接通电源预热约10分钟，将选择开关置于“加热"位置并调节加热电流至规管管座或说明书标注的规定值（即启封电流），再将开关置于“测量"位置进行读数。为确保读数稳定，上述操作可反复进行三次。 [14-15]

根据年检校准要求，校准环境应满足相应温度、湿度规定（实验室）或现场使用条件。校准所用的标准仪器，其误差限应优于被校准热偶真空计误差限的1/3至1/10。此外，执行校准操作的人员必须经过有效考核并取得合格资质。 [16]

系统性的检测通常涵盖测量线性度、零点漂移、重复性、响应时间等关键性能指标，并在配备初级标准真空计、真空校准腔体等设备的标准化系统中进行。相关检测活动严格遵循JJG() 173-2016、ISO 3567等国家及国际技术标准。 [12]

进行热偶真空计校准的机构，无论是地方计量所还是第三方校准单位，都必须具备由国家认可的统一资质（如CNAS计量资质），以确保校准结果的性和有效性。

使用注意事项

热偶真空计的校准

热偶真空计在使用前也需要进行校准，热偶规管在未开封前真空度已抽至为10^-2~10^-3Pa。将热偶规管与仪器连接，使管座垂直向上，接通仪器电源开关，预热10min,“热偶转换"开关置“加热电流"位置，调节“加热电流"旋钮，使加热电流达到规定值(加热电流标注在每支热电偶真规管的管座上或使用说明书中)，热偶真空计指针满度，持续1min，再将“热偶选择"开关放在“测量"位置上，这样反复测定三次，完成热偶真空计的校准工作。 [1]

在热偶规管内

气体导热是气体与热丝碰撞的结果且与热丝表面状况有关。因此，应保持管内及热丝表面状清洁，一般不要在大气压状态下对热丝加热，尽量减少油蒸气污染。

热偶规管对电磁场敏感，测量时应避免外界电磁场干扰，如测量中不要使高频火花移近热偶规管。

波尔登规（Bourdon）

细的铜管受气体压力不同会有舒展现象，会带动杠杆和齿轮旋转，使得指针指示在不同刻度上，即可读出相应的气压值。这种规的测量范围一般在100Pa至1atm。